1、風速、風量變化次數(shù)
潔凈室和潔凈區(qū)的潔凈度主要是通過輸送足夠的潔凈空氣來置換和稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來實現(xiàn)的。因此,需要對潔凈室或潔凈設施的送風量、平均風速、送風均勻性、氣流方向和流型進行測量。
壓差檢測要求:
(1)靜壓差的測量要求潔凈區(qū)的所有門都關閉。
(2)在潔凈平面上,應按照潔凈度由高到低的順序進行,直至檢測到通向室外的房間。
(3)測量噴嘴可以位于室內(nèi)任何不受氣流影響的位置,測量噴嘴表面與氣流流線平行。
(4)測量和記錄的數(shù)據(jù)應到1.0Pa
壓差檢測步驟:
(1)首先關閉所有車門。
(2)用壓差表測量潔凈室、潔凈室走廊、走廊與外界的壓差。
(3)記錄所有數(shù)據(jù)。
標準壓差要求
根據(jù)潔凈室設計或工藝的要求,決定維持被測潔凈室的正壓或負壓值。
(1)不同等級的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差不應小于5Pa。
(2)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差不應小于10Pa。
(3)空氣潔凈度等級嚴于5級(100級)的單向流潔凈室開啟時,室內(nèi)工作面在門內(nèi)0.6m處的粉塵濃度不應大于相應級別的粉塵濃度限值。
(4)如果達不到上述標準的要求,應重新調(diào)整新風量和排風量,直至合格。